特許

J-GLOBAL ID：201103069456676484

感放射線性樹脂組成物

発明者： 荒野 明男 ,  山元 研二
出願人/特許権者： AZエレクトロニックマテリアルズ株式会社
代理人 (2件)： 鐘尾 宏紀 ,  野口 武男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096352
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292919
特許番号：特許第4068260号
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド基を含む感光剤を含有してなる感放射線性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂が薄膜蒸留法により処理されたノボラック樹脂であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/023 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G03F 7/023 511 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 放射線感応組成物およびそれを用いるパターン形成方 法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-288959   出願人：東レ株式会社
• 化学増幅形レジスト用のベース樹脂およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-184850   出願人：三星電子株式会社
• 特開平2-282745