電子線照射装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：絹谷信雄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-381847
公開番号（公開出願番号）：特開2002-181999
特許番号：特許第4479093号
出願日： 2000年12月15日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電子線発生装置で発生した電子線を対象物に照射する電子線照射装置において、上記電子線発生装置の照射口の近傍に設けられ電子線の照射方向に略平行な回転軸を有する回転機構と、中心が該回転軸に接続されると共に、上記照射口を覆うディスク状の窓と、該窓と上記照射口との間に設けられ上記電子線照射装置内を真空保持するため上記窓を回転自在にシールするシール機構とを備えたことを特徴とする電子線照射装置。

IPC (4件)：

G21K 5/00 ( 200 6.01) , A61L 2/08 ( 200 6.01) , B01J 19/12 ( 200 6.01) , G21K 5/04 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G21K 5/00 W , G21K 5/00 C , A61L 2/08 , B01J 19/12 C , G21K 5/04 E

引用特許：

出願人引用 (9件)

電子線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-347100 出願人：日新ハイボルテージ株式会社
電子線照射装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-156116 出願人：株式会社東芝
特開平4-164300

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