感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：鐘尾宏紀 , 野口武男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-331811
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139831
特許番号：特許第4312946号
出願日： 2000年10月31日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アルカリ可溶性樹脂とキノンジアジド基を含む感光剤とを含有するガラス基板塗布用感光性樹脂組成物の製造方法において、前記感光剤として、平均エステル化率がX%(50≦X≦100)の2,3,4,4’-テトラヒドロキシベンゾフェノンと1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸とのエステル化物からなる感光剤Aと、平均エステル化率がY%(25≦Y≦(X-10))の2,3,4,4’-テトラヒドロキシベンゾフェノンと1,2-ナフトキノンジアジドスルホン酸とのエステル化物からなる感光剤Bとを、感光剤A:Bが10〜90:90〜10の混合比で用いることを特徴とするガラス基板塗布用感光性樹脂組成物の製造方法。

IPC (2件)：