特許

J-GLOBAL ID：201103070332706162

走査トンネル顕微鏡のニオブ製探針の製作方法

発明者： 岩見 正之 ,  藤田 武弘 ,  上原 洋一 ,  潮田 資勝
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-167194
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356643
特許番号：特許第3222437号
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 走査トンネル顕微鏡のニオブ製探針の製作方法において、塩酸水溶液を電解液とした電気化学的作用により、かつ探針素材であるニオブ線と対向電極間に印加する交流電圧の大きさを時間経過とともに5段階に分けて減少させることにより、ニオブ製探針を先鋭化し、かつ走査トンネル顕微鏡の位置分解能を低下させるニオブ製探針の生成物を除去することを特徴とする走査トンネル顕微鏡のニオブ製探針の製作方法。

IPC (3件)：

G01N 13/12 ,  C25F 3/00 ,  G12B 21/04

FI (3件)：

G01N 13/12 D ,  C25F 3/00 Z ,  G12B 1/00 601 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 走査型顕微鏡用金属探針の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-197621   出願人：株式会社ニコン