シート状材料の表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中井宏行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-011996
公開番号（公開出願番号）：特開2001-201455
特許番号：特許第3750456号
出願日： 2000年01月20日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】シート状材料の表面に対し、所定範囲内の角度から光を照射し、その反射光を撮像した画像と、上記シート状材料の表面の上方から光を照射し、その反射光を上方から撮影した画像とを基にして、上記シート状材料表面の凹凸不良を検出し、上記シート状材料表面の凹凸不良以外の不良を検出したときには、上記シート状材料の表面に対し、所定範囲内の角度から光を照射して、その反射光を撮像した画像を微分して、その微分値を基にして、汚れ不良とキズ不良とを判別することを特徴とするシート状材料の表面欠陥検査方法。

IPC (2件)：