特許

J-GLOBAL ID：201103070492776256

炭化珪素微細部品の成形加工方法

発明者： 田中 秀治 ,  江刺 正喜
出願人/特許権者： 独立行政法人科学技術振興機構
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-317442
公開番号（公開出願番号）：特開2001-139377
特許番号：特許第3893001号
出願日： 1999年11月08日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 炭化珪素微細部品の成形加工方法であって、炭化珪素粉末と炭素粉末とバインダ粉末を、フォトリソグラフィ、反応性イオンエッチングないしは精密機械加工の少くとも一手段よりなるマイクロマシニング技術によるマイクロメータオーダーの微細加工を施した微細シリコンモールドの内部に充填し、バインダを硬化させた後に炭化させ、これにより得られた前記微細シリコンモールドをともなう成形部材を、熱間等方加圧によって反応焼結させ、残留した前記微細シリコンモールドをエッチングにより除去することを特徴とする炭化珪素微細部品の成形加工方法。

IPC (3件)：

C04B 35/573 ( 200 6.01) ,  C04B 35/565 ( 200 6.01) ,  B28B 7/34 ( 200 6.01)

FI (3件)：

C04B 35/56 101 V ,  C04B 35/56 101 N ,  B28B 7/34 D