特許

J-GLOBAL ID：201103070919940664

バーンイン装置

発明者： 石坂 政明
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社 ,  オリオン機械株式会社
代理人 (1件)： 役 昌明 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-194917
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023992
特許番号：特許第3432456号
出願日： 1999年07月08日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 バーンイン対象のデバイスと熱的に遮断されたバーンイン基板の直下にドライバ基板を配置し、この間を短い信号線にて接続するようにしたことを特徴とするバーンイン装置。

IPC (3件)：

H01L 21/326 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

H01L 21/326 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66 H

引用特許：

出願人引用 (1件)

• バーンイン装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-288262   出願人：松下電器産業株式会社