特許

J-GLOBAL ID：201103071040444406

静電容量型センサのセンサ特性測定装置

発明者： 太田 則一 ,  島岡 敬一 ,  船橋 博文 ,  石王 誠一郎 ,  鈴木 康利 ,  伊藤 一 ,  牧野 泰明
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所 ,  株式会社デンソー
代理人 (4件)： 小玉 秀男 ,  村瀬 裕昭 ,  安部 誠 ,  鈴木 智哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-211098
公開番号（公開出願番号）：特開2003-028825
特許番号：特許第4508480号
出願日： 2001年07月11日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 対向する可動電極と固定電極を備える静電容量型センサのセンサ特性を測定する装置であって、 可動電極と固定電極の間に第1の所定電圧を印加して両電極間の静電容量を測定する手段と、両電極間に第2の所定電圧を印加して両電極間の静電容量を測定する手段と、各静電容量測定手段で測定される2種類の静電容量を比較する手段とを備え、 静電容量測定手段は静電容量を電圧に変換する手段を持ち、正常な両電極間に第1の所定電圧を印加したときに出力される電圧と、正常な両電極間に第2の所定電圧を印加したときに出力される電圧とがほぼ等しくなるように構成された静電容量型センサのセンサ特性測定装置。

IPC (1件)：

G01D 5/24 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01D 5/24 B

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体加速度センサの自己診断方法並びに装置及びそれに用いられる半導体加速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-328942   出願人：オムロン株式会社