特許
J-GLOBAL ID：201103071092653186

感放射線性樹脂組成物、表示素子のスペーサーおよび保護膜ならびにそれらの形成方法

発明者：
松田 健太朗

松田 健太朗 について

, 
一戸 大吾

一戸 大吾 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-046206
公開番号（公開出願番号）：特開2011-180478
出願日： 2010年03月03日
公開日（公表日）： 2011年09月15日
要約：
【課題】スリット塗布における高速塗布が可能であり、低露光量であっても所望のパターン寸法を有し且つ強度に優れるパターン状薄膜が得られ、短い時間で現像可能である感放射線性樹脂組成物を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、 (A)アルカリ可溶性樹脂、(B)重合性不飽和化合物、および(C)感放射線性重合開始剤を含有する感放射線性樹脂組成物において、(B)重合性不飽和化合物として、(B-1)下記一般式(1)で表される化合物群から選択される少なくとも1種の(メタ)アクリレート化合物及び、(B-2)分子量100以上のカルボキシル基を有する(メタ)アクリレート化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)重合性不飽和化合物、および(C)感放射線性重合開始剤を含有する感放射線性樹脂組成物において、(B)重合性不飽和化合物として、 (B-1)下記一般式(1)で表される化合物群から選択される少なくとも1種の(メタ)アクリレート化合物及び、 (B-2)分子量100以上のカルボキシル基を有する(メタ)アクリレート化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/027 ,  G03F 7/40 ,  G03F 7/033 ,  G02F 1/133 ,  H01L 21/027 ,  C08F 2/44 ,  C08F 265/06
FI (7件)：
G03F7/027 502 ,  G03F7/40 501 ,  G03F7/033 ,  G02F1/1339 500 ,  H01L21/30 502R ,  C08F2/44 C ,  C08F265/06
Fターム (74件)：
2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096HA01 ,  2H125AC32 ,  2H125AC35 ,  2H125AC36 ,  2H125AC43 ,  2H125AC44 ,  2H125AC46 ,  2H125AC49 ,  2H125AC58 ,  2H125AC63 ,  2H125AC72 ,  2H125AD02 ,  2H125AD06 ,  2H125AD14 ,  2H125AD24 ,  2H125AE13P ,  2H125AM66P ,  2H125AM86P ,  2H125AN36P ,  2H125AN58P ,  2H125AN72P ,  2H125AN89P ,  2H125BA01P ,  2H125BA05P ,  2H125BA11P ,  2H125BA13P ,  2H125BA22P ,  2H125BA33P ,  2H125CA22 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD08P ,  2H125CD34 ,  2H189DA06 ,  2H189EA02X ,  2H189FA16 ,  2H189GA11 ,  2H189GA12 ,  2H189HA14 ,  4J011AC04 ,  4J011CA02 ,  4J011PA47 ,  4J011PA69 ,  4J011PB30 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J026AA17 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026AA46 ,  4J026AA47 ,  4J026AA48 ,  4J026AA68 ,  4J026AC15 ,  4J026AC19 ,  4J026AC23 ,  4J026AC24 ,  4J026AC25 ,  4J026AC33 ,  4J026AC35 ,  4J026BA28 ,  4J026BB03 ,  4J026CA08 ,  4J026DA02 ,  4J026DA12 ,  4J026DB02 ,  4J026DB06 ,  4J026DB36 ,  4J026FA05 ,  4J026GA07
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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