ステージ機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後藤洋介 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-167135
公開番号（公開出願番号）：特開2000-356693
特許番号：特許第3458227号
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ベースの上方に所定の間隔をおいて位置し予め定められた方向に延びるビームと、該ビームをガイドとして前記ビームに沿って移動する移動体とを有し、前記移動体には前記ビームの外側に突出する位置で前記ベースに当接する少なくとも3つの移動体用静圧空気軸受けパッドが配設されており、前記ビームには前記ベースとの間に介在して一つのビーム用静圧空気軸受けパッドが取り付けられ、該ビーム用静圧空気軸受けパッドは前記予め定められた方向及びこれに直交する方向に関して前記ビームの中央部に取り付けられていることを特徴とするステージ機構。

IPC (1件)：