特許

J-GLOBAL ID：201103071651084626

超音波利用微小脱気装置

発明者： 楊 振 ,  前田 龍太郎
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-206397
公開番号（公開出願番号）：特開2002-018202
特許番号：特許第3479680号
出願日： 2000年07月07日
公開日（公表日）： 2002年01月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板と、該基板の表面と間隙を有して配置した覆板と、該基板の裏面に固定した超音波振動発生器とを備え、前記基板表面には、基板の両端縁部の一方及び他方に配置した被処理液体の入口及び出口、並びに両者間に位置する脱気室を形成する液体流路形成手段を備えると共に、被処理液体の流路方向に対して直角に基板の両側縁部をつなぐように延びる複数の細溝を形成し、該細溝壁面を撥水処理したことを特徴とする超音波利用微小脱気装置。

IPC (5件)：

B01D 19/00 ,  A61M 1/14 515 ,  B01D 15/08 ,  C02F 1/20 ,  B01D 61/30

FI (5件)：

B01D 19/00 C ,  A61M 1/14 515 ,  B01D 15/08 ,  C02F 1/20 A ,  B01D 61/30