特許

J-GLOBAL ID：201103071973687644

基板のエッジホールド式回転装置

発明者： 中田 憲吾
出願人/特許権者： タツモ株式会社
代理人 (1件)： 板谷 康夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-369298
公開番号（公開出願番号）：特開2003-168722
特許番号：特許第3949947号
出願日： 2001年12月03日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】シリコンウエハ、フォトマスク用ガラス、液晶用ガラス等の基板のエッジをホールドするテーブルを、その中心軸を回転軸として回転させる基板回転手段と、この基板回転手段上にエッジホールドされた基板の角度位置を検出する検出手段とを備え、前記基板回転手段にロボット等のアームハンド手段により基板が搬出入される基板のエッジホールド式回転装置において、 前記テーブルは、それぞれが移動自在であって前記基板のエッジ部裏面に接触して支持する複数の支持ブロックと、前記アームハンド手段及び又は検出手段が位置する所定の回転角度範囲内に位置した支持ブロックを接触状態から退避させる変位制御手段とを備え、 前記回転角度範囲内では前記支持ブロックと基板裏面側の間に間隙を生じるようにしたことを特徴とする基板のエッジホールド式回転装置。

IPC (2件)：

H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  G02F 1/13 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 N ,  G02F 1/13 101

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウェーハ保持機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-329910   出願人：ソニー株式会社
• ノッチ合わせ機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-187725   出願人：株式会社メックス