特許

J-GLOBAL ID：201103072318056174

基板処理装置および通信制御プログラムを記録した記録媒体

発明者： 北本 徹 ,  井上 秀和 ,  吉田 多久司
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-066235
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260675
特許番号：特許第3945932号
出願日： 1999年03月12日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ホストコンピュータとの間で通信を行う機能を有する基板処理装置であって、 基板に所定の処理を行う基板処理部と、 記憶手段と、 前記基板処理部の処理に基づくメッセージを前記ホストコンピュータに送信し、前記ホストコンピュータとの通信の喪失時に、スプールを識別するためのスプール情報および前記ホストコンピュータに送信すべきメッセージを含むレコードをデータベースとして前記記憶手段に記憶させ、前記ホストコンピュータとの通信の回復時に、前記記憶手段に前記データベースとして記憶されたメッセージを前記スプール情報を用いて検索し、検索したメッセージを前記ホストコンピュータに送信する通信制御手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ( 200 6.01) ,  H01L 21/68 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/02 Z ,  H01L 21/68 F

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 制御システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-164288   出願人：東京エレクトロン株式会社

審査官引用 (1件)

• 制御システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-164288   出願人：東京エレクトロン株式会社