特許
J-GLOBAL ID：201103072319608227
照明光学系、露光装置及びデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤元 亮輔
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-232682
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045784
特許番号：特許第3605055号
出願日： 2001年07月31日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】光源からの波長200nm以下の光で被照明面を照明する照明光学系において、第1の反射型インテグレータと、前記光源からの光を前記第1の反射型インテグレータに入射させる第1の光学系と、前記第1の反射型インテグレータからの複数の光束を前記被照明面上に重ねる第2の光学系とを有し、前記第1の光学系は、射出光束の発散角が互いに異なる複数個の第2の反射型インテグレータと、該第2の反射型インテグレータからの複数の光束を前記第1の反射型インテグレータ上に重ねる集光ミラーとを持ち、 前記複数個の第2の反射型インテグレータの夫々は、前記光源からの光の光路中に択一的に配置可能であることを特徴とする照明光学系。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G02B 5/10
, G02B 17/00
, G02B 19/00
, G03F 7/20
H01L 21/30 527
, G02B 5/10 A
, G02B 5/10 C
, G02B 17/00 A
, G02B 19/00
, G03F 7/20 503
, H01L 21/30 517
, H01L 21/30 531 A
