照明装置、該照明装置を備えた露光装置および該露光装置を用いて半導体デバイスを製造する方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-263673
公開番号（公開出願番号）：特開平11-312638
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【目的】従来よりも格段に照明効率が高く、より高いスループット化にも十分に対応できる照明装置、露光装置及びその露光装置を用いた半導体デバイスを製造する方法の提供にある。【構成】光束を供給する光源手段と、該光源手段からの光束に基づいて多数の光源像を形成する多光源形成光学系と、該多光源形成光学系により形成される前記多数の光源からの光束を集光して被照明面を照明するコンデンサー光学系とを有し、前記多光源形成光学系は、多数の第1光学素子を含む第1の光学素子群を有し、前記多数の第1光学素子は、前記光源手段からの光束を多数の円弧状の光束に波面分割して多数の光源を形成するために、円弧状の輪郭を持つ第1の光学面をそれぞれ有する構成とした。

請求項（抜粋）：

光束を供給する光源手段と、該光源手段からの光束に基づいて多数の光源像を形成する多光源形成光学系と、該多光源形成光学系により形成される前記多数の光源からの光束を集光して被照明面を照明するコンデンサー光学系とを有し、前記多光源形成光学系は、多数の第1光学素子を含む第1の光学素子群を有し、前記多数の第1光学素子は、前記光源手段からの光束を多数の円弧状の光束に波面分割して多数の光源を形成するために、円弧状の輪郭を持つ第1の光学面をそれぞれ有することを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 527 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 518

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-002540
照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-226395 出願人：株式会社ニコン
照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-038799 出願人：株式会社ニコン

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