特許

J-GLOBAL ID：201103072642131472

ターボ分子ポンプの異常検出装置

発明者： 外山 勝久
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 藤田 考晴
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-343682
公開番号（公開出願番号）：特開2003-148384
特許番号：特許第3986295号
出願日： 2001年11月08日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ターボ分子ポンプの大気突入による異常発生を検出する異常検出装置であって、 前記ターボ分子ポンプのポンプ回転数が所定の低下速度以上で低下したときに異常であると判定する回転数異常判定手段と、 前記ターボ分子ポンプにおける回転軸のスラスト変位が所定値以上となったときに異常であると判定する変位異常判定手段と、 前記ターボ分子ポンプを駆動するモータのモータ電流が所定値以上になったときに異常であると判定する電流異常判定手段、 の少なくともいずれか1つの異常判定手段を備え、該異常判定手段が異常であると判定したときにターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生したと判定するとともに、 前記ターボ分子ポンプに大気突入による異常が発生した回数をカウントするカウンタを備え、このカウンタのカウント値が第1の所定回数以上になったときに、保護軸受のメンテナンス時期を知らせるために警報を発する警報手段と、 前記カウンタのカウント値が第1の所定回数よりも大きい第2の所定回数以上になったときに、保護軸受とロータシャフトの焼き付けや、ターボ分子ポンプの動翼と静翼の接触による破損を未然に防止するために警告を発する警告手段とを備えることを特徴とするターボ分子ポンプの異常検出装置。

IPC (2件)：

F04D 19/04 ( 200 6.01) ,  F04D 27/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

F04D 19/04 H ,  F04D 27/00 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-015297
  
• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-081100   出願人：株式会社島津製作所
• 特開平3-015297