ガス測定器及びガス測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：阿部英樹 , 石島茂男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-219174
公開番号（公開出願番号）：特開2002-039939
特許番号：特許第3552999号
出願日： 2000年07月19日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】対象ガスの濃度を検出するためのセンサであって、当該対象ガスを含まない調整用ガスに対してその濃度に換算するための値を初期値とする機能を有するガスセンサと、対象ガスを含むガスのうち当該対象ガスのみを除去するためのガス除去器と、所定のガスを導入可能な導入管を開閉するための導入弁と、前記ガスセンサに接続された流入管を開閉するための測定用弁と、前記ガス除去器に接続された流出管を開閉するための調整用弁とを有する第1の弁機構と、前記ガスセンサに接続された流出管を開閉するための測定用弁と、前記ガス除去器に接続された流入管を開閉するための調整用弁と、所定のガスを排出可能な排出管を開閉するための排出弁とを有する第2の弁機構と、所定のガスを前記ガスセンサに送るためのポンプとを備えたことを特徴とするガス測定器。

IPC (5件)：

G01N 21/27 , G01N 1/00 , G01N 21/35 , G01N 27/04 , G01N 27/18

FI (7件)：

G01N 21/27 F , G01N 1/00 C , G01N 1/00 101 R , G01N 1/00 101 S , G01N 21/35 Z , G01N 27/04 H , G01N 27/18

引用特許：

出願人引用 (5件)

ガス濃度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-195218 出願人：荏原実業株式会社
特開平1-244341
特開平3-238344

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