ボンディング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺良徳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-400285
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197671
特許番号：特許第3813088号
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ワイヤが挿通されワークにボンディングを行なうツールと、ワークを撮像する位置検出用カメラと、所定位置に配置された基準部材と、前記ツール及び前記基準部材の像を前記位置検出用カメラに導く光学手段とを備え、前記光学手段を通して前記位置検出用カメラに導いた前記ツール及び前記基準部材の像を処理して前記位置検出用カメラと前記ツールとのオフセット量を算出するボンディング装置において、前記位置検出用カメラに設けられたレンズと前記光学手段に設けられたレンズとの組み合わせでアフォーカル系を構成することを特徴とするボンディング装置。

IPC (1件)：