その場差分光法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-508679
公開番号（公開出願番号）：特表2011-520126
出願日： 2009年05月07日
公開日（公表日）： 2011年07月14日
要約：

サンプルの方向に向けられた電子ビームを発生させる、電子ビーム発生器を備える分光計。電子ビームポジショナーは、電子ビームをサンプルの位置に向けることにより、サンプルから二次放出電子流を生じ、二次放出電子流は、電子およびX線のうち少なくとも1つを含む。二次放出流ポジショナーは、二次放出流を検出器アレイの位置に合わせ、検出器アレイは、二次放出流を受信し、二次放出流の量および受信位置の両方を検出する。変調器は、サンプルの方向に向けられた電子ビームを変調し、その結果、電子ビームを、サンプル上の第1位置と第2位置との間で走査する。抽出器は、変調器および検出器アレイの両方と信号を通信する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

サンプルの方向に向けられた電子ビームを発生させる、電子ビーム発生器と、前記電子ビームをサンプルの位置に向けることにより、サンプルから二次放出流を生じさせるための、電子ビームポジショナーと、前記二次放出流を検出器アレイの位置に合わせるための、二次放出流ポジショナーと、前記二次放出流を受信し、前記二次放出流の量および受信位置の両方を検出するための、前記検出器アレイとを備えるタイプの分光計において、前記二次放出流が電子およびX線のうち少なくとも1つを含み、サンプルの方向に向けられた電子ビームの位置を変調する変調器を備え、その結果、前記電子ビームを、サンプル上の第1位置と第2位置との間で走査するという改善を有し、前記第1位置から受信された信号と前記第2位置から受信された信号との差を示す差信号を抽出するための、前記変調器および前記検出器アレイの両方と信号を通信する抽出器を備える分光計。

IPC (1件)：

G01N 23/227

FI (1件)：

G01N23/227

Fターム (8件)：

2G001AA03 , 2G001BA09 , 2G001CA03 , 2G001DA08 , 2G001DA09 , 2G001GA01 , 2G001HA13 , 2G001KA13

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭55-089738
特開昭49-118493
特開平2-145950

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