オゾン暴露試験方法およびオゾン暴露試験装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：宮崎昭夫 , 緒方雅昭 , 金田暢之 , 伊藤克博 , 石橋政幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-006939
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194292
特許番号：特許第4124935号
出願日： 2000年01月14日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】オゾン暴露試験方法であって、オゾンを含む気体を試験槽からオゾン濃度調節手段を介して該試験槽に戻す循環系を有し、該循環系から該試験槽に入る経路に液体の水が侵入するのを防止する機構を用いてオゾン暴露試験中に被測定試料に液体の水が付着することなくオゾン暴露試験を行なうことを特徴とするオゾン暴露試験方法。

IPC (1件)：