特許
J-GLOBAL ID：201103073679609310
異常検出システム、異常検出方法及び記憶媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
別役 重尚
, 村松 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-155370
公開番号（公開出願番号）：特開2011-014608
出願日： 2009年06月30日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：
【課題】装置に発生する異常を精度よく検出する異常検出システムを提供する。【解決手段】プラズマ処理装置2に発生する異常を検出する異常検出システム100は、異常の発生に起因するAEを検出する複数の超音波センサ41と、超音波センサ41の各出力信号をそれぞれ第1信号と第2信号に分配する分配器65と、第1信号を例えば10kHzでサンプリングし、所定の特徴を検出したときにトリガ信号を発生させるトリガ52と、トリガ信号を受信してトリガ発生時刻を決定するトリガ発生時刻カウンタ54と、第2信号を例えば1MHzでサンプリングしたサンプリングデータを作成するデータロガーボード55と、サンプリングデータのうちトリガ発生時刻カウンタ54より決定されたトリガ発生時刻を基準とした一定期間に相当するデータの波形解析を行うことによってプラズマ処理装置2に発生した異常を解析するPC50とを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
処理装置に発生する異常を検出する異常検出システムであって、
前記処理装置において発生するアコースティックエミッションを検出するための複数の超音波センサと、
前記複数の超音波センサの各出力信号をそれぞれ第1信号と第2信号に分配する分配ユニットと、
前記第1信号を第1周波数でサンプリングし、所定の特徴を検出したときにトリガ信号を発生させるトリガ発生ユニットと、
前記トリガ信号を受信してトリガ発生時刻を決定するトリガ発生時刻決定ユニットと、
前記第2信号を前記第1周波数よりも高い第2周波数でサンプリングしたサンプリングデータを作成するデータ作成ユニットと、
前記サンプリングデータのうち前記トリガ発生時刻決定ユニットより決定された前記トリガ発生時刻を基準とした一定期間に相当するデータの波形解析を行うことによって前記処理装置に発生した異常を解析するデータ処理ユニットと、を備えることを特徴とする異常検出システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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