特許

J-GLOBAL ID：201103073730972122

ターボ分子ポンプ

発明者： 岡村 知明 ,  外山 勝久
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (3件)： 光石 俊郎 ,  光石 忠敬 ,  田中 康幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-200695
公開番号（公開出願番号）：特開2002-021775
特許番号：特許第3912964号
出願日： 2000年07月03日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ケーシング内に、軸方向に交互に配列された複数の動翼及び複数の静翼と、前記複数の静翼相互を軸方向に離間しつつ位置固定するため軸方向に並んで配置されたスペーサと、ガス流路のうち前記動翼及び前記静翼よりも下流側に位置するガス流路を外部から供給された熱で加熱する放熱板とを備えたターボ分子ポンプにおいて、 前記放熱板の上流側部分に形成されており、複数の前記スペーサのうち前記静翼の下方に位置するスペーサに接触している熱伝導部と、 前記熱伝導部よりも下流側に配置されており、熱が前記ケーシングに伝わるのを防止する下流側の断熱スペーサと、 前記熱伝導部よりも上流側に位置しつつ前記スペーサに介装された上流側の断熱スペーサとを設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。

IPC (1件)：

F04D 19/04 ( 200 6.01)

FI (2件)：

F04D 19/04 E ,  F04D 19/04 G

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特表平7-508082
  
• ターボ分子ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-227940   出願人：三菱重工業株式会社