流入・流出対称型流量計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-315163
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133307
特許番号：特許第3511959号
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】流体の流入孔と、流量計測部と、流体の流出孔とからなり、前記流入孔と前記流量計測部との間に流入側整流部を、前記流量計測部と前記流出孔との間に流出側整流部をそれぞれ設け、さらに前記流入側整流部および流出側整流部は、前記流入孔および流出孔よりも断面積を大に設定したチャンバと、これらチャンバの流量計測部側に配置した整流部材とで構成した流入・流出対称型流量計。

IPC (4件)：