特許

J-GLOBAL ID：201103074118701884

MEMSアクチュエータ

発明者： 山口 征隆
出願人/特許権者： 住友精密工業株式会社
代理人 (3件)： 大中 実 ,  大内 信雄 ,  鈴木 活人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-105333
公開番号（公開出願番号）：特開2011-128173
出願日： 2008年04月15日
公開日（公表日）： 2011年06月30日
要約：

【課題】少なくとも一方向の寸法を小さくすることができる、レーザ光等の2次元走査が可能なMEMSアクチュエータを提供することを目的とする。【解決手段】第1軸線X周りに揺動する第1可動部21を支持する第1固定部22、23が積層された第2軸線Y周りに揺動する第2可動部31を支持する第2固定部32、33を、第2可動部31の内側に配置、又は、第2可動部31の狭小部分312Aと連結して配置することで、第1可動部21の法線方向から見たときのMEMSアクチュエータ1の寸法を小さくすることを可能としている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1基板と、前記第1基板の片面に積層される第2基板とを備え、 前記第1基板は、 第1固定部と、第1可動部と、前記第1固定部に対して前記第1可動部を第1軸線周りに揺動可能に支持する第1支持部とを有し、 前記第2基板は、 前記第1固定部が積層され、内側に空間部が形成された第2可動部と、前記空間部に配置される第2固定部と、前記第2固定部に対して前記第2可動部を前記第1軸線と方向が異なる第2軸線周りに揺動可能に支持する第2支持部とを有することを特徴とするMEMSアクチュエータ。

IPC (3件)：

G02B 26/10 ,  H02K 33/18 ,  B81B 3/00

FI (3件)：

G02B26/10 104 ,  H02K33/18 C ,  B81B3/00

Fターム (19件)：

2H045AB13 ,  2H045BA12 ,  2H045DA11 ,  3C081AA11 ,  3C081BA21 ,  3C081BA22 ,  3C081BA44 ,  3C081BA46 ,  3C081BA47 ,  3C081BA54 ,  3C081BA71 ,  3C081EA08 ,  5H633BB02 ,  5H633BB15 ,  5H633GG03 ,  5H633GG08 ,  5H633HH02 ,  5H633HH04 ,  5H633JA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• プレーナ型電磁アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-128056   出願人：日本信号株式会社
• プレーナ型アクチュエータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-365672   出願人：日本信号株式会社