特許

J-GLOBAL ID：201103074542184873

研磨パッド固定用両面粘着テープ及びその剥離方法

発明者： 畠井 宗宏 ,  福岡 正輝 ,  大山 康彦 ,  檀上 滋 ,  林 聡史 ,  下村 和弘 ,  長谷川 剛
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-350864
公開番号（公開出願番号）：特開2003-147303
特許番号：特許第3851548号
出願日： 2001年11月15日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 研磨パッドを研磨機の定盤に固定する研磨パッド固定用両面粘着テープであって、基材の両面に粘着剤層を有するものであり、定盤に接着する側の粘着剤層は、分子内に放射線重合性の不飽和結合を有してなるアクリル酸アルキルエステル系及び/又はメタクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーと、放射線重合性の多官能オリゴマー又はモノマーとを主成分として含有する硬化型粘着剤からなり、刺激を与えることにより気体を発生するアジド化合物を含有することを特徴とする研磨パッド固定用両面粘着テープ。

IPC (5件)：

C09J 7/02 ( 200 6.01) ,  C09J 5/00 ( 200 6.01) ,  C09J 11/06 ( 200 6.01) ,  C09J 201/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (5件)：

C09J 7/02 Z ,  C09J 5/00 ,  C09J 11/06 ,  C09J 201/00 ,  H01L 21/304 622 F

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 研磨布固定用両面粘着テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-312658   出願人：積水化学工業株式会社
• 研磨材固定用テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-315623   出願人：日立化成ポリマー株式会社
• 発泡性両面接着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-109223   出願人：日東電工株式会社