圧電振動片の電極形成方法、圧電振動片の電極形成用マスク、圧電振動子および圧電発振器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上柳雅誉 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-120220
公開番号（公開出願番号）：特開2002-314358
特許番号：特許第3528811号
出願日： 2001年04月18日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】主電極形成部分の圧電材料の厚さを他の部分より薄く形成した圧電振動片に対して物理蒸着法により主電極を形成する方法であって、前記圧電振動片における前記主電極形成部分の周縁に向けた突起を電極形成用マスクの開口部における主電極形成部分の周縁に形成し、前記電極形成用マスクを介して前記圧電振動片に電極材料を物理蒸着させることにより、所望寸法の前記主電極を形成可能としたことを特徴とする圧電振動片の電極形成方法。

IPC (4件)：