特許
J-GLOBAL ID：201103075462984611
高周波回路の特性測定用機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 兼行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038464
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241476
特許番号：特許第3264261号
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被測定高周波回路を固定するステージと、前記被測定高周波回路の特性を測定するために、該被測定高周波回路の信号入出力端子に接続部が接続される測定プローバと、互いにそれぞれ直交する第1軸、第2軸及び第3軸のうち、前記第1軸方向に移動させた前記ステージを、前記測定プローバに対して該第1軸方向の所定位置に位置決めする位置決め部と、手動の連結作動機構を有し、該連結作動機構の手動操作により前記第2軸と第3軸の2軸方向にほぼ同時に前記測定プローバ及び前記ステージを自動的に位置決めして、該測定プローバの接続部を前記被測定高周波回路の信号入出力端子に接続させる2軸同時位置決め機構とを有し、前記2軸同時位置決め機構は、第1及び第2のスプリングと、前記ステージへの前記高周波回路の搭載時は、前記第1のスプリングのバネ力に抗して前記測定プローバを前記ステージの高周波回路搭載位置より離間させ、かつ、接続時は該第1のスプリングのバネ力により前記第2軸方向へ該測定プローバを移動させる第1のカムと、前記ステージへの前記高周波回路の搭載時は、前記第2のスプリングのバネ力に抗して前記ステージを前記測定プローバより離間させ、かつ、接続時は該第2のスプリングのバネ力により前記第3軸方向の前記測定プローバ方向へ該ステージを移動させる第2のカムと、前記第1及び第2のカムを連結して同時に作動させる前記連結作動機構とよりなることを特徴とする高周波回路の特性測定用機構。
IPC (3件)：
G01R 31/00
, G01R 31/28
, H01L 21/66
G01R 31/00
, H01L 21/66 B
, G01R 31/28 K
