特許

J-GLOBAL ID：201103076202349170

研磨工具

発明者： 千葉 伸一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-252462
公開番号（公開出願番号）：特開2001-071245
特許番号：特許第3673682号
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 研磨面を有する研磨パッドと、該研磨パッドを取り付ける板状部材と、該板状部材の周辺部を前記研磨面の押圧方向に取り付ける支柱部材と、該支柱部材を保持するベース部材と、前記板状部材の長手方向および短手方向の中央部に取り付けられ、前記板状部材を前記研磨面の押圧方向に変位させる1個のアクチュエータと、加工位置に応じて加工面形状を算出する演算制御手段と、該演算制御手段により算出される面形状に合致するように前記アクチュエータを駆動させる駆動制御手段を備えることを特徴とする研磨工具。

IPC (3件)：

B24B 13/01 ,  B24B 13/02 ,  B24D 11/00

FI (3件)：

B24B 13/01 ,  B24B 13/02 E ,  B24D 11/00 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特公平5-058864
  
• 被研磨基板保持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-269680   出願人：ソニー株式会社