質量分析器および質量分析方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：細見吉生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-174809
公開番号（公開出願番号）：特開2011-029043
出願日： 2009年07月27日
公開日（公表日）： 2011年02月10日
要約：

【課題】二次イオン収率を低下させることなく試料の損傷を改善することができる質量分析器を提供する。【解決手段】二次イオンおよび後からイオン化された中性の二次粒子を分析するための質量分析器において、試料を照射することで二次粒子を発生させるための一次イオンビームを作り出すイオン源と、二次粒子の質量分析のための分析ユニットとを設け、一次イオンを構成する原子1個あたりの運動エネルギーを20eV以下の領域で制御できる機能を装備させる。前記一次イオンとして、気体原子がファンデルワールス力で凝集したガスクラスターイオンを用いるとよい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

二次イオンおよび後からイオン化された中性の二次粒子を分析するための質量分析器であって、試料を照射することで二次粒子を発生させるための一次イオンビームを作り出すイオン源と、二次粒子の質量分析のための分析ユニットを有しており、一次イオンを構成する原子1個あたりの運動エネルギーを20eV以下の領域で制御できる機能を備えていることを特徴とする質量分析器。

IPC (3件)：

H01J 49/14 , H01J 49/40 , G01N 27/64

FI (3件)：

H01J49/14 , H01J49/40 , G01N27/64

Fターム (9件)：

2G041CA01 , 2G041DA13 , 2G041DA16 , 2G041FA12 , 2G041GA07 , 2G041GA13 , 2G041GA22 , 2G041GA29 , 5C038GG02

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