特許
J-GLOBAL ID：201103076470682256

サーボ型振動検出器

発明者：
野村 幸司

野村 幸司 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (2件)： 荒船 博司 ,  荒船 良男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-185093
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004522
特許番号：特許第4488471号
出願日： 2001年06月19日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 外乱振動により変位する振子と、 前記振子を駆動させる駆動部と、 前記振子の変位を検出する変位検出部と、 前記変位検出部から入力される振子の変位に基づいて設定された変位フィードバック量を前記駆動部に帰還させる変位フィードバック手段と、 前記変位検出部から入力される振子の変位から振子の速度を算出し、当該速度に基づいて設定された速度フィードバック量を前記駆動部に帰還させる速度フィードバック手段と、 を有するサーボ型振動検出器であって、 前記速度フィードバック手段のON/OFF切換を行う切換手段を設け、 当該サーボ型振動検出器の姿勢制御動作時に前記切換手段により前記速度フィードバック手段をOFFにすることを特徴とするサーボ型振動検出器。
IPC (2件)：
G01H 11/02 ( 200 6.01) ,  G01P 15/13 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01H 11/02 B ,  G01P 15/13
引用特許：
審査官引用 (2件)

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