特許
J-GLOBAL ID：201103076680722927

基板処理装置

発明者：
前川 直嗣

前川 直嗣 について

, 
大橋 泰彦

大橋 泰彦 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-248186
公開番号（公開出願番号）：特開2003-060003
特許番号：特許第3979805号
出願日： 2001年08月17日
公開日（公表日）： 2003年02月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数個の処理部と未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを投入する投入部と処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを払い出す払出部とを備え、各々の前記処理部で基板処理をそれぞれ行う基板処理装置であって、 軸心周りに回転可能な回転軸を有し、前記キャリアを保持する保持板を備え、前記投入部と前記払出部との間を移動可能に構成したスライド板と、 未処理または処理済の複数枚の基板を収納した状態で前記キャリアを搬送するキャリア搬送機構と、 未処理の複数枚の基板を収納した状態で前記キャリアを搬送し、前記キャリアから前記基板を取り出す投入用搬送機構と、 処理済の基板を前記キャリアに収納し、複数枚の前記基板を収納した状態で前記キャリアを搬送する払出用搬送機構と、 未処理または処理済の基板を搬送する基板搬送機構とを備え、 前記スライド板は、未処理の複数枚の基板を収納したキャリアを前記保持板によって保持した状態で、前記投入部から前記投入部と前記払出部との間にあるキャリア搬送路にまで移動するとともに、前記回転軸によって前記保持板に保持された前記キャリアを90°分回転させ、 前記キャリア搬送機構は、前記スライド板が前記キャリア搬送路にある際に、複数個のキャリアを保持した状態で、前記キャリア搬送路に沿って移動し前記投入用搬送機構に受け渡し、 前記投入用搬送機構は、投入時には前記キャリア搬送機構から受け取ったキャリアを前記キャリア搬送路に直交する方向に搬送するとともに、前記キャリアから未処理の基板を取り出して前記基板搬送機構に受け渡し、 前記払出用搬送機構は、払出時には前記基板搬送機構から受け取った処理済の基板をキャリアに収納するとともに、処理済の基板が収納されたキャリアを投入時とは逆方向に搬送し、 前記キャリア搬送機構は、前記払出用搬送機構にある複数個のキャリアを受け取って、前記キャリア搬送路に沿って移動して前記保持板に前記キャリアを受け渡し、 前記スライド板は、前記回転軸によって前記保持板に保持された前記キャリアを90°分回転させるとともに、処理済の複数枚の基板を収納したキャリアを前記保持板によって保持した状態で、前記キャリア搬送路から前記払出部にまで移動し、 かつ、前記基板搬送機構の搬送方向に対して同じ側に前記投入部と払出部とが配備されているとともに、前記投入用搬送機構と払出用搬送機構とは、処理部と投入部/払出部との間に配備されていることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  B08B 3/04 ( 200 6.01) ,  H01L 21/306 ( 200 6.01)
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  B08B 3/04 Z ,  H01L 21/306 K
引用特許：
審査官引用 (3件)

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