氷スラリ表面加工方法とその装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：高橋昌久 , 花田久丸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-128122
公開番号（公開出願番号）：特開2001-009728
特許番号：特許第4236232号
出願日： 2000年04月27日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】氷粒を水と混合した氷スラリを被加工物に噴射して液体ホーニング若しくは液体ブラストと同様な加工を行う氷スラリ表面加工方法において、前記氷粒が、氷点以下の過冷却水を過冷却水解除手段による状態変化により得られる過冷却氷粒であり、前記過冷却氷粒の供給を受け氷スラリ貯留槽での貯留冷水との撹拌混合により氷スラリを形成した後、氷スラリ貯留槽より搬送ポンプを介して、氷スラリを噴射手段へ導く搬送路の前記搬送ポンプの取付位置より前段側にスラリ濃度調整用の冷水取り入れ口を設け、前記搬送路内に搬送される氷スラリに前記冷水取り入れ口より取り入れた冷水を補給して、前記搬送路の搬送過程で管路の詰まりが生じない濃度に前記氷スラリの濃度を調整して該濃度を調整した氷スラリを被加工物に噴射させるとともに、前記冷水取り入れ口より取り入れる前記冷水が氷スラリ貯留槽底部側より導き入れた氷点に近い冷水である事を特徴とする氷スラリ表面加工方法。

IPC (6件)：

B24C 11/00 ( 200 6.01) , B24C 1/00 ( 200 6.01) , B24C 3/00 ( 200 6.01) , B24C 7/00 ( 200 6.01) , B24C 9/00 ( 200 6.01) , F25C 1/00 ( 200 6.01)

FI (6件)：

B24C 11/00 E , B24C 1/00 A , B24C 3/00 A , B24C 7/00 D , B24C 9/00 D , F25C 1/00 A

引用特許：

審査官引用 (6件)

氷を投射する液体ホーニング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-140072 出願人：株式会社不二精機製造所
特開平3-244986
ウエーハキャリヤの洗浄方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-238425 出願人：株式会社リコー

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