特許

J-GLOBAL ID：201103076849596527

容量型ベースの圧力センサ設計

発明者： グラジエン、クリストファー・ピー
出願人/特許権者： エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド
代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎 ,  白根 俊郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-530770
特許番号：特許第3980270号
出願日： 1999年01月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 内部表面を有するケースと、それぞれの第1の端部が前記ケースの内部表面と接触し、第2の端部がハブと接触している1以上のスポークと、ハブとを含んでいる第1の本体と、 第2の本体と、 前記第1の本体と前記第2の本体との間に配置されてそれらに溶接されているダイヤフラムとを具備し、 前記第1の本体と前記ダイヤフラムは第1の室を規定し、前記第2の本体と前記ダイヤフラムは第2の室を規定しており、 さらに、前記第1の室中に前記ダイヤフラムと対向して配置され、前記ハブに固定されている電極を具備し、 前記ダイヤフラムの一部分は前記第2の室の圧力よりも高い前記第1の室の圧力に応答して第1の方向に湾曲し、前記ダイヤフラムの前記部分は前記第1の室の前記圧力よりも高い前記第2の室の前記圧力に応答して前記第1の方向と反対の第2の方向に湾曲するように構成されており、 前記電極と前記ダイヤフラム間のキャパシタンスは前記第1の室と第2の室の前記圧力間の差を表している圧力変換器アセンブリ。

IPC (1件)：

G01L 9/12 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01L 9/12

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 容量性圧力センサ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-507653   出願人：セトラシステムズインコーポレイテッド
• 真空表示装置付き圧力センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-070907   出願人：ローズマウントインコ.
• 特公昭60-015010
  

審査官引用 (3件)

• 容量性圧力センサ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-507653   出願人：セトラシステムズインコーポレイテッド
• 真空表示装置付き圧力センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-070907   出願人：ローズマウントインコ.
• 特公昭60-015010