特許
J-GLOBAL ID：201103076881857685
電子ビーム照射装置
出願人/特許権者：
ウシオ電機株式会社
ウシオ電機株式会社 について
代理人 (2件)： 武 顕次郎 , 七條 耕司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-001058
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194500
特許番号：特許第3557979号
出願日： 2000年01月06日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】電子ビームを放射する直線状の窓部を有する複数の電子ビーム管を備え、前記複数の電子ビーム管を、前記窓部の長手方向が互いに略並行となるように配置すると共に、前記各窓部の長手方向が被処理物の移動方向に対して略直交するように配置した電子ビーム照射装置において、隣接する電子ビーム管から放射される電子ビームの重なり度を調節する調節手段を有し、前記調節手段は、第1の回動部材を回動可能に支持する支点部材と、前記複数の電子ビーム管を個別に支持する支持部材と、各支持部材に設けられ第1の回動部材に摺動可能に設けられるとともに当該支持部材に対して回動可能な保持部材と、前記複数の支持部材の両側に設けられた固定ガイド部材と、第1の回動部材に接続されると共に支点部材を中心に回動可能に設けられた第2の回動部材と、直動モータによって被処理物の移動方向に対して略直角方向へ移動可能な移動部材とよりなり、直動モータを駆動して移動部材を移動させることにより、第2の回転部材が移動し、第1の回転部材が支点部材を中心に回動することにより、各支持部材が隣接する固定ガイド部材または隣接する支持部材によって被処理物の移動方向に対して略直角方向に移動することを特徴とする電子ビーム照射装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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