特許
J-GLOBAL ID：201103077600383155
電子線による検査装置、検査方法、及びその検査装置を用いたデバイス製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (6件)：
小野 新次郎
, 千葉 昭男
, 神田 藤博
, 星野 修
, 宮前 徹
, 山崎 幸作
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-007078
公開番号（公開出願番号）：特開2011-142090
出願日： 2011年01月17日
公開日（公表日）： 2011年07月21日
要約：
【課題】ウェハなどの試料の欠陥を検出する検査速度を向上させる。【解決手段】電子ビームを検査試料に照射する一次電子光学系と、ウェハから放出された二次ビームを検出器に入射する二次光学系と、検出器と、検出器を制御するための制御装置とを備えた、電子線検査装置において、電子線検査装置は、一次コラム、二次コラムおよびチャンバーを有し、一次コラムには、電子銃、一次電子光学系が配置されており、チャンバーには、ステージが設置され、その上に試料が載置されており、二次コラムには、光軸上に、カソードレンズ、ニューメニカルアパーチャ、ウィーンフィルタ、第2レンズ、フィールドアパーチャ、第3レンズ、第4レンズおよび検出器が配置されており、開口部が電子ビームの集束位置およびカソードレンズの焦点位置になるように配置されて、カソードレンズと前記ニューメニカルアパーチャとは、テレセントリックな電子光学系を構成している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子銃から放出された電子ビームを検査されるべき試料に照射する一次電子光学系と、
ウェハから放出された二次ビームを検出器に入射する二次光学系と、
二次ビームを検出する検出器と、
検出器を制御するための制御装置とを備えた、電子線検査装置において、
前記電子線検査装置は、一次コラム、二次コラムおよびチャンバーを有しており、
前記一次コラムの内部には、前記電子銃が設けられており、該電子銃から照射された前記電子ビームの光軸上に前記一次電子光学系が配置されており、
前記チャンバーの内部には、ステージが設置され、該ステージ上には前記試料が載置されており、
前記二次コラムの内部には、前記試料から発生する二次ビームの光軸上に、カソードレンズ、ニューメニカルアパーチャ、ウィーンフィルタ、第2レンズ、フィールドアパーチャ、第3レンズ、第4レンズおよび検出器が配置されており、
開口部が前記電子ビームの集束位置およびカソードレンズの焦点位置になるように配置されて、前記カソードレンズと前記ニューメニカルアパーチャとは、テレセントリックな電子光学系を構成していることを特徴とする電子線検査装置。
IPC (3件)：
H01J 37/29
, H01L 21/66
, H01J 37/09
H01J37/29
, H01L21/66 J
, H01J37/09 A
4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106CA39
, 4M106DB05
, 4M106DB18
, 5C033BB02
, 5C033BB10
出願人引用 (1件)
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検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-360306
出願人：株式会社ニコン
審査官引用 (1件)
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検査装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-360306
出願人：株式会社ニコン
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