検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：古谷史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-360306
公開番号（公開出願番号）：特開平11-242943
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 1999年09月07日
要約：

【要約】【課題】電子ビームを利用して試料画像を取得する検査装置に関し、特に、高速に画像を検出することができ、また、観察倍率に関わらず画像の明るさを一定に維持することができる検査装置に関する。【解決手段】電子ビームを出射する電子銃24と、電子ビームを試料面上の照射領域に照射する照射電子光学系25と、電子ビームの照射領域から発生する2次電子または反射電子を検出する電子検出手段35と、試料と電子検出手段との間に配置され、2次電子または反射電子からなる2次ビームを、電子検出手段の検出面に結像させ、照射領域内の観察領域を該検出面に投影する投影電子光学系31、33、34と、投影電子光学系の投影倍率を変更し、試料面上の観察領域の範囲を変更する倍率制御手段39、41と、観察領域の範囲に応じて、照射領域の電流密度を変化させる電子照射制御手段39、40とを備えて構成する。

請求項（抜粋）：

電子ビームを出射する電子銃と、前記電子ビームを試料面上の照射領域に照射する照射電子光学系と、前記電子ビームの照射領域から発生する2次電子と反射電子との少なくとも一方を検出する電子検出手段と、前記試料と前記電子検出手段との間に配置され、前記2次電子と前記反射電子との少なくとも一方からなる2次ビームを、前記電子検出手段の検出面に結像させ、前記照射領域内の観察領域を該検出面に投影する投影電子光学系と、前記投影電子光学系の投影倍率を変更し、前記試料面上の観察領域の範囲を変更する倍率制御手段と、前記観察領域の範囲に応じて、前記照射領域の電流密度を変化させる電子照射制御手段とを備えたことを特徴とする検査装置。

IPC (4件)：

H01J 37/29 , H01J 37/04 , H01J 37/22 502 , H01J 37/28

FI (4件)：

H01J 37/29 , H01J 37/04 A , H01J 37/22 502 C , H01J 37/28 B

引用特許：

審査官引用 (11件)

電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-101132 出願人：株式会社ホロン
透過型電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-293028 出願人：株式会社日立製作所
直接写像型反射電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-095180 出願人：日本電子株式会社

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