圧力センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：玉村静世
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-323951
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131147
特許番号：特許第4522567号
出願日： 2000年10月24日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】受圧部と前記受圧部に結合された感圧素子とを有し、前記受圧部は先端部が閉じられた可撓性のパイプチューブから成り、前記感圧素子は、前記パイプチューブの基端部に結合されその中空部分に内部が連通する素子ケーシングと、前記素子ケーシングに内蔵され前記パイプチューブの内圧の変化を振動板に受けてそれを検出するエレクトレットコンデンサマイクロホンと、前記素子ケーシングの前記エレクトレットコンデンサマイクロホンの背面側に形成され大気圧に非導通の空室と、を有し、前記素子ケーシングの内部において前記エレクトレットコンデンサマイクロホンの正面側と背面側とをリークさせるリーク通路が、前記素子ケーシングの内周部と前記エレクトレットコンデンサマイクロホンの外周部との間に、又は前記エレクトレットコンデンサマイクロホンのケーシングの内周部に前記振動板を迂回して形成され、更に前記空室は前記エレクトレットコンデンサマイクロホンのケーシングの前記振動板背面側の内部に連通されて、成るものであることを特徴とする圧力センサ。

IPC (3件)：

G01L 1/02 ( 200 6.01) , A61B 5/0245 ( 200 6.01) , G01L 9/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01L 1/02 , A61B 5/02 321 C , G01L 9/00 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

振動ピックアップ装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-267282 出願人：ホシデン株式会社
特開平2-291839
特開平2-291839

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