光学式変位センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴江武彦 , 村松貞男 , 風間鉄也 , 水野浩司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-006411
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205819
特許番号：特許第4372877号
出願日： 1999年01月13日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】所定の形状を有する光ビームを出射する面発光レーザ光源と、前記面発光レーザ光源からの光ビームを横切るように変位し、かつ、前記光ビームによる回折干渉パターンを生成する所定周期の回折格子が形成されたスケールと、前記回折干渉パターンの所定部分を受光する光検出器とを有する光学式変位センサであって、前記面発光レーザ光源の光ビーム出射面と前記回折格子が形成された面との間隔をz1とし、前記回折格子が形成された面と前記光検出器の受光面との間隔をz2とし、前記スケール上の回折格子のピッチをp1とし、nを自然数としたとき、前記光検出器は、受光面上における前記回折干渉パターンのピッチ方向に np1(z1+z2)/z1 の間隔で形成された複数の受光エリアにより構成される光強度検出手段を有し、前記面発光レーザ光源の射出窓は、前記回折干渉パターンのピッチ方向または該ピッチ方向と垂直な方向に対して、射出面上での射出光ビーム径が3μm以上となるように構成されており、且つ、前記複数の受光エリアは、前記回折干渉パターンのピッチ方向または該ピッチ方向と垂直な方向に対して、前記光ビームの拡がり幅の内側に配置されていることを特徴とする光学式変位センサ。

IPC (1件)：

G01D 5/38 ( 200 6.01)

FI (1件)：

G01D 5/38 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭63-063916
光学式エンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-058640 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開昭64-043719

審査官引用 (3件)

特開昭63-063916
光学式エンコーダ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-058640 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開昭64-043719

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