半導体レーザモジュール及びその製造方法並びにシステム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中澤昭彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-299638
公開番号（公開出願番号）：特開2002-111115
特許番号：特許第4629843号
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】内部を気密封止するパッケージと、前記パッケージ内に設けられ、レーザ光を出力する半導体レーザ素子と、前記半導体レーザ素子の前方側から出力されたレーザ光が入射され、前記パッケージの頭部側に取り付けられた光ファイバと、前記半導体レーザ素子の後方側から出力されたレーザ光を受光する受光素子と、前記受光素子よりも後方側の前記パッケージの尾部に設けられたパイプ状の通気部とを有し、前記通気部を介して前記パッケージ内に低熱伝導性ガスを導入した後に又は前記パッケージ内を排気した後に、前記通気部は、その先端部を圧潰し溶接することにより封止される、ことを特徴とする半導体レーザモジュール。

IPC (3件)：