スクライバシャンク調整方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：佐々木功 , 川村恭子 , 久保健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-201472
公開番号（公開出願番号）：特開2011-054709
出願日： 2009年09月01日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：

【課題】スクライバシャンクの向きを容易に調整できるようにする。【解決手段】被加工物を保持する保持テーブル5と保持テーブル5に保持された被加工物にスクライブ加工を施すスクライブ手段6とを備えたスクライバ装置4にスクライブ手段6を構成するスクライバシャンク3を装着し、保持テーブル5上に鏡面体7を載置しダイヤモンドチップ31を鏡面体7に写し、鏡面体7に写ったダイヤモンドチップ31の像を取得する反射像取得手段を用いてダイヤモンドチップ31を観察するとともにダイヤモンドシャンク3の向きを調整して複数の加工点34a、34b、34cのうち所定の加工点34aを形成する稜線33aの向きとスクライブ方向とをそろえる。鏡面体を介して稜線の向きを調整することができるため、正確かつ迅速に稜線の向きを調整することができる。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

複数の稜線の端部に加工点を有するダイヤモンドチップが先端に配設されたスクライバシャンクの向きを調整するスクライバシャンク調整方法であって、被加工物を保持する保持テーブルと該保持テーブルに保持された被加工物にスクライブ加工を施すスクライブ手段とを備えたスクライバ装置に、該スクライブ手段を構成するスクライバシャンクを装着するステップと、該保持テーブル上に鏡面体を載置し該ダイヤモンドチップを該鏡面体に写すステップと、該鏡面体に写ったダイヤモンドチップの像を取得する反射像取得手段を用いて該ダイヤモンドチップを観察するとともに該ダイヤモンドシャンクの向きを調整して複数の加工点のうち所定の加工点を形成する稜線の向きとスクライブ方向とをそろえるステップと、を備えたスクライバシャンク調整方法。

IPC (2件)：

H01L 21/301 , B28D 5/00

FI (2件)：

H01L21/78 G , B28D5/00 Z

Fターム (7件)：

3C069AA03 , 3C069BB03 , 3C069CA05 , 3C069CA06 , 4G015FA03 , 4G015FB01 , 4G015FC11

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-214006
特開昭63-245395
スクライバーシャンクの装填方法及びシステム
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-081423 出願人：テクダイヤ株式会社

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