研削液ノズル、その位置調整方法、及び微細スリットの研削加工法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：綿貫達雄 , 山本文夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-079895
公開番号（公開出願番号）：特開2002-273660
特許番号：特許第4020355号
出願日： 2001年03月21日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ブロック状のノズル本体の側部端面を、研削液吹出孔の中心軸線と平行な平面からなり、研削装置のテーブル上に置かれた位置調整用の冶具の垂直面と密着される第一基準面とするとともに、ノズル本体の中央部に研削液吹出孔の中心軸線を含み、かつ第一基準面と平行な平面からなる第二基準面を形成し、さらにこのノズル本体に、研削装置に対してノズル本体を任意の位置・角度に固定できるアームを設けたことを特徴とする研削液ノズル。

IPC (3件)：