高周波振動子及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：上柳雅誉 , 須澤修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-035726
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246873
特許番号：特許第3541810号
出願日： 2001年02月13日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ATカット水晶基板の中央部を化学的にエッチングして基本波周波数が80MHz以上となる薄肉状の励振部を形成し、前記励振部の周りに外周フレーム部を形成した逆メサ構造を有する高周波振動子において、前記励振部の表裏何れか一方を凹レンズ状曲面に形成し、他方を平坦面に形成し、前記凹レンズ状曲面の中央部の厚みtcを外周部の厚みteに対して0.90te〜0.995teに設定し、前記励振部上に主電極を形成したことを特徴とする高周波振動子。

IPC (2件)：