特許
J-GLOBAL ID:201103078692939088

光学測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 福島 祥人
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-079066
公開番号(公開出願番号):特開2002-277211
特許番号:特許第4659996号
出願日: 2001年03月19日
公開日(公表日): 2002年09月25日
請求項(抜粋):
【請求項1】 測定対象物に光を投射する投光部と、 列状に配列された複数の画素を有し前記投光部により投射された光を受光して受光量に対応する信号を出力するイメージセンサが筺体内部に取り付けられ、該筺体の受光面に定められた所定位置が、測定対象物のエッジ位置を算出するための基準位置として設定されている受光部と、 前記受光部の筺体の基準位置に対応する前記イメージセンサの画素位置を基準画素位置として予め記憶する第1の記憶手段と、 前記受光部の出力信号に基づいて前記測定対象物のエッジ位置に対応する前記イメージセンサの画素位置を測定画素位置として求めるエッジ抽出手段と、 前記エッジ抽出手段により求められた測定画素位置を記憶する第2の記憶手段と、 前記第2の記憶手段に記憶される測定画素位置に対応するエッジ位置のうち複数のエッジ位置をユーザが指定可能、および前記第2の記憶手段に記憶された測定画素位置に対応するエッジ位置と前記基準位置とをユーザが指定可能に構成される指定手段と、 前記指定手段により指定されたエッジ位置に対応する測定画素位置と前記基準画素位置との差を算出することにより、測定対象物のエッジ位置を算出するエッジ算出手段と、 前記指定手段により複数のエッジ位置が指定された場合に前記エッジ算出手段により算出された複数のエッジ位置の間の距離を算出し、前記指定手段によりエッジ位置と前記基準位置とが指定された場合に前記エッジ算出手段により算出されたエッジ位置と前記基準位置との間の距離を算出する距離算出手段と、を備えたことを特徴とする光学測定装置。
IPC (4件):
G01B 11/00 ( 200 6.01) ,  G01B 11/02 ( 200 6.01) ,  G01B 11/14 ( 200 6.01) ,  G01B 11/24 ( 200 6.01)
FI (4件):
G01B 11/00 H ,  G01B 11/02 H ,  G01B 11/14 H ,  G01B 11/24 K
引用特許:
審査官引用 (6件)
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