W-Tiターゲット及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：清水善廣 , 阿部伸一 , 辻田幸史 , 町田悦夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-058284
公開番号（公開出願番号）：特開2002-256422
特許番号：特許第4578704号
出願日： 2001年03月02日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 W-Tiターゲットにおいて、その組織がW相及びTi相のみからなり、組織中にW/Ti合金相が無く、前記組織中のW相のW粒径及びTi相のTi粒径が5μm以下であり、前記W-TiターゲットのHv硬度が543以下であることを特徴とするW-Tiターゲット。

IPC (6件)：

C23C 14/34 ( 200 6.01) , B22F 3/10 ( 200 6.01) , B22F 3/24 ( 200 6.01) , C22C 1/04 ( 200 6.01) , H01L 21/285 ( 200 6.01) , C22C 27/04 ( 200 6.01)

FI (6件)：

C23C 14/34 A , B22F 3/10 F , B22F 3/24 G , C22C 1/04 D , H01L 21/285 S , C22C 27/04 101

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-264640
Ti-Wターゲット材およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-032719 出願人：日立金属株式会社
特表平6-507674

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