特許
J-GLOBAL ID：201103078921736730
原子間力顕微鏡及びそのカンチレバー支持具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
大野 聖二
, 森田 耕司
, 田中 玲子
, 加藤 真司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-126027
公開番号（公開出願番号）：特開2011-252764
出願日： 2010年06月01日
公開日（公表日）： 2011年12月15日
要約：
【課題】カンチレバーをZ方向に高速に駆動した場合にも、光てこ法等の光を使った測定法でカンチレバーの試料との間の原子間力による相互作用量を正確に検出できる原子間力顕微鏡及びそのカンチレバー支持具を提供する。【解決手段】原子間力顕微鏡100は、カンチレバー14を支持するカンチレバー支持具13と、高さ方向を駆動方向としてカンチレバー支持具13を駆動するZスキャナ12とを備えている。カンチレバー支持具13は、Zスキャナ12の駆動方向に直交する方向に突出したカンチレバー取付部と、カンチレバー取付部の突出方向と反対方向に突出したバランス突出部を有している。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
探針を有するカンチレバーを備え、前記カンチレバーと試料との試料面方向の相対位置を変えながら、前記カンチレバーと試料との間の原子間力によって生ずる相互作用量が一定となるように、試料面に対する前記カンチレバーの高さ方向の位置を制御することで、試料の表面の情報を取得する原子間力顕微鏡であって、さらに、
前記カンチレバーを支持するカンチレバー支持具と、
前記高さ方向を駆動方向として前記カンチレバー支持具を駆動するZスキャナとを備え、
前記カンチレバー支持具は、前記Zスキャナの駆動方向に直交する方向に突出したカンチレバー取付部と、前記カンチレバー取付部の突出方向と反対方向に突出したバランス突出部を有している
ことを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N13/16 101
, G01N13/10 111E
