特許

J-GLOBAL ID：201103079252714471

ドナーキラー未処理ウェーハの平坦度測定方法および装置

発明者： 東 純一朗 ,  溝脇 浩二 ,  池田 剛
出願人/特許権者： SUMCO TECHXIV株式会社
代理人 (2件)： 村上 友一 ,  大久保 操
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-204976
公開番号（公開出願番号）：特開2002-026097
特許番号：特許第4530189号
出願日： 2000年07月06日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 静電容量式平坦度測定器を用いてドナーキラー未処理ウェーハの表面の平坦度を測定するドナーキラー未処理ウェーハの平坦度測定方法において、 回転するドナーキラー未処理ウェーハの表面に前記静電容量式平坦度測定器のプローブを対面させるとともに、このプローブ対面部の直上流部分にバンドギャップ以上のエネルギーを付与する波長の光を照射して測定する際、前記照射光の光源支持部を防振することにより光照射面の照度変動を抑制して、 前記ドナーキラー未処理ウェーハの表面のうち前記プローブによる測定位置よりも前記ドナーキラー未処理ウェーハの回転方向の前側であって且つ前記測定位置から前記表面における前記照射光の振幅巾を越えて離れた位置に前記照射光を照射し、測定することを特徴とするドナーキラー未処理ウェーハの平坦度測定方法。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ( 200 6.01) ,  G01B 7/34 ( 200 6.01) ,  G01B 21/30 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/66 P ,  G01B 7/34 101 ,  G01B 21/30 101 F

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ドナーキラー未処理ウェーハの平坦度測定方法および平坦度測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-025885   出願人：コマツ電子金属株式会社
• 特開平4-291938
  
• 共焦点走査型顕微鏡を用いた寸法測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-186756   出願人：東芝電子エンジニアリング株式会社, 株式会社東芝