特許
J-GLOBAL ID：201103079350867588
セラミックヒーターとこれを用いたウエハ加熱装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-259807
公開番号（公開出願番号）：特開2002-075598
特許番号：特許第3904813号
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】炭化珪素質セラミックスからなる板状体の一方の主面にSiO2からなる酸化膜と、その上にガラスからなる絶縁層を備え、該絶縁層上に発熱抵抗体を備えるとともに、該発熱抵抗体がZn、B、Siの少なくとも一種類を含む結晶相を含有することを特徴とするセラミックヒーター。
IPC (7件)：
H05B 3/12 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
, H05B 3/10 ( 200 6.01)
, H05B 3/14 ( 200 6.01)
, H05B 3/16 ( 200 6.01)
, H05B 3/20 ( 200 6.01)
, H05B 3/74 ( 200 6.01)
H05B 3/12 A
, H01L 21/30 567
, H05B 3/10 C
, H05B 3/14 B
, H05B 3/16
, H05B 3/20 393
, H05B 3/74
