液体材料吐出装置、液体材料の吐出体積の制御方法、および当該方法を用いた電子部品製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (11件)：岡部正夫 , 加藤伸晃 , 産形和央 , 臼井伸一 , 藤野育男 , 越智隆夫 , 本宮照久 , 高梨憲通 , 朝日伸光 , 高橋誠一郎 , 吉澤弘司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-246289
公開番号（公開出願番号）：特開2001-327905
特許番号：特許第3731863号
出願日： 2000年08月15日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】シリンジ内部に保持された液体材料に対して圧力媒体を用いて所定の値の圧力を付加して前記シリンジに設けられた吐出口から吐出される液体材料の体積を制御する方法において、前記吐出口から前記液体材料が吐出される際の前記液体材料の形状を撮像装置にて撮像し、撮像された前記液体材料の形状から前記吐出される液体材料の体積を求め、前記求められた体積に基づいて前記制御が行われ、前記算出された吐出口より吐出された液体材料の体積を第一の体積とし、前記液体材料の対象物に対しての移送後において前記吐出口に残留する前記液体材料の一部の形状を撮像し、撮像された前記一部の形状から前記液体材料の一部の体積を第二の体積として算出し、前記第一の体積より前記第二の体積を減ずることにより前記対象物に対して移送された前記液体材料の体積を求めることを特徴とする液体材料の体積を制御する方法。

IPC (6件)：

B05C 5/00 ( 200 6.01) , B05C 11/00 ( 200 6.01) , B05D 3/00 ( 200 6.01) , B05D 7/24 ( 200 6.01) , G01F 13/00 ( 200 6.01) , H01L 21/56 ( 200 6.01)

FI (7件)：

B05C 5/00 101 , B05C 11/00 , B05D 3/00 B , B05D 3/00 D , B05D 7/24 301 K , G01F 13/00 301 V , H01L 21/56 E

引用特許：

審査官引用 (5件)

粘性流体塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-105698 出願人：富士通テン株式会社
液体塗布方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-246537 出願人：日本電気株式会社
点滴装置及びそれを備えた輸液ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-040158 出願人：テルモ株式会社

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