特許
J-GLOBAL ID:201103079733699468
ディスクを製造するための装置
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
佐藤 一雄
, 永井 浩之
, 岡田 淳平
, 名塚 聡
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-157860
公開番号(公開出願番号):特開2000-348389
特許番号:特許第4074727号
出願日: 1999年06月04日
公開日(公表日): 2000年12月15日
請求項(抜粋):
【請求項1】 一方のディスク基板と他方のディスク基板とを接着剤によって貼り合わせてディスクを製造するディスク製造装置において、
前記一方のディスク基板を供給する一方の基板供給部と、前記他方のディスク基板を供給する他方の基板供給部と、を有する基板供給装置と、
前記一方のディスク基板を低速回転させながらその表面に前記接着剤をリング状に付与する一方の低速スピン部と、前記他方のディスク基板を低速回転させながらその表面に接着剤をリング状に付与する他方の低速スピン部と、を有する低速スピン装置と、
前記一方及び他方のディスク基板を前記基板供給装置から前記低速スピン装置に搬送する第1の搬送装置と、
前記接着剤がリング状に付与された前記一方のディスク基板を高速回転させて前記接着剤を均一に分散させる一方の高速スピン部と、前記接着剤がリング状に付与された前記他方のディスク基板を高速回転させて前記接着剤を均一に分散させる他方の高速スピン部と、を有する高速スピン装置と、
前記一方及び他方のディスク基板を前記低速スピン装置から前記高速スピン装置に搬送する第2の搬送装置と、
前記接着剤が均一に分散された前記一方のディスク基板と前記接着剤が均一に分散された前記他方のディスク基板とを減圧雰囲気下で貼り合わせる貼り合わせ装置と、
前記一方及び他方のディスク基板を前記高速スピン装置から前記貼り合わせ装置に搬送する第3の搬送装置と、
前記一方及び他方のディスク基板を前記貼り合わせ装置により貼り合わせて形成したディスクをその両面から加圧するディスク加圧装置と、
前記ディスク加圧装置により加圧処理された前記ディスクの前記接着剤を硬化する接着剤硬化装置と、を備えたことを特徴とするディスク製造装置。
IPC (2件):
G11B 7/26 ( 200 6.01)
, C09J 5/00 ( 200 6.01)
FI (2件):
引用特許:
前のページに戻る