特許
J-GLOBAL ID：201103079935397676
MOCVDによるヘテロ金属酸化物の成長用前駆体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (10件)：
中村 稔
, 大塚 文昭
, 熊倉 禎男
, 宍戸 嘉一
, 竹内 英人
, 今城 俊夫
, 小川 信夫
, 村社 厚夫
, 西島 孝喜
, 箱田 篤
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-557258
特許番号：特許第4087065号
出願日： 1999年06月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 次式の金属有機前駆体。
Sr[M(OR1)6-xLx]2
(式中、xは1〜6であり;
MはTa又はNbであり;
R1は直鎖又は分岐鎖アルキル基であり;かつ
Lは次式のアルコキシド基である:
(式中、nは0又は1であり、
nが0のときXはOであり、nが1のときXはNであり、
R2及びR3は同一若しくは異なる直鎖若しくは分岐鎖アルキル基であり;かつ
R4は無置換の直鎖又は分岐鎖のアルキル鎖であるか、又はアミノ、アルキルアミノ又はアルコキシ基で置換されている直鎖又は分岐鎖のアルキル鎖である。))
IPC (6件)：
C07C 217/06 ( 200 6.01)
, C07C 31/28 ( 200 6.01)
, C23C 16/40 ( 200 6.01)
, C23C 18/12 ( 200 6.01)
, C07F 7/00 ( 200 6.01)
, C07F 9/00 ( 200 6.01)
C07C 217/06
, C07C 31/28
, C23C 16/40
, C23C 18/12
, C07F 7/00 Z
, C07F 9/00 Z
